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光学3D表面轮廓仪干涉物镜知多少!

发布日期:
2020年2月14日
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光学3D表面轮廓仪基于白光干涉原理,以3D非接触方式,测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:

表面形貌(粗糙度,平面度,平行度,台阶高度,锥角等等)几何特征(关键孔径尺寸,曲率半径,特征区域的面积和体积,特征图形的位置和数量等等) 光学3D表面轮廓仪的光学系统基于无限远显微镜系统。通过干涉物镜产生干涉条纹,使基本的光学显微镜系统变为光学3D表面轮廓仪。

除了负责产生干涉条纹,各类干涉物镜还决定了系统很多关键性能,如光学分辨率,工作距离,齐焦距离,坡度能力,视场范围等等。

中图仪器提供丰富的各类物镜选择,以满足最挑战的测试需求,除了标配的10X干涉物镜,还有2.5×、5×、20×、50×、100×可选。


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